○特徴○
１．ガラス管内面は真空チャンバーに直接さらされていないので、
スパッタ物などがガラス管内面に付くことはありません。
そのためスパッタ物の影響を受けることなしに、
真空チャンバーのワーク位置を常時検出することが出来ます。
２．真空容器内には電気部品・ケーブルなどが入りませんので、
プロセスにアウトガスの影響を与えません。
３．検出回路は真空チャンバーの外にありますので、
電気ノイズ・温度・磁場などの影響を受けません。
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■詳細図■
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■スペック■
本スイッチのデザイン、仕様は改良のため予告なく変更することが
あります。
ご了承下さい。
特許出願中
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