パソコンを使ったリモート制御運転、ロギングソフト設計を行います。
1.ジョブ画面
多層成膜を行う画面です。
シーケンサからレシピデータ送信要求があるとレシピデータを送信します。
最大4万層の成膜が無人で行う事ができます。
2.ロギング画面
ロギング画面です。
シーケンサからのモニタデータを1秒間隔でロギングします。
ロギング間隔は1～60秒の範囲で設定できます。
ロギングが終了すると自動的にハードディスクに保存されます。
ロギングデータ行(サンプリング番号)が65,536行を超えると自動的にハードディスクに一度保存されます。
その後は自動再開します。
